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发布时间:2020-02-23 12:07:07
净化技术的设备发展
国际市场对***空气过滤器的需求量很大,洁净室工程,且每年均有增长,目前日本每年销售超过100万台,按每台平均价格200美元计算,销售额达2亿美元。我国***空气过滤器市场需求量已接近每年10万台,占国际市场的2%~4%,但至今还没有0.1微米ULPA过滤器生产,洁净室净化工程,用于超大规模集成电路生产洁净厂房及各种高科技领域洁净厂房的0.1微米ULPA过滤器目前还要依赖进口。
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检漏方法常用的是DOP法检漏(即采用DOP溶剂作为尘源,与气溶胶光度计配合检漏),也可用尘埃粒子计数器扫描法来检漏(即采用大气尘作为尘源,与粒子计数器配合检漏)。由于粒子计数器读数为累积读数,不利于扫描,巡检速度慢;另外,丹东洁净室,在被测***过滤器上风侧,百级洁净室,往往大气尘浓度较低,需补充发烟才易发现泄漏,粒子计数器法检漏的的这些不足DOP法恰恰可以弥补,故国外广泛采用DOP法检漏。
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